近日，中國科學院寧波材料技術與(yu) 工程研究所在衍射光學元件的低成本方麵取得進展，相關(guan) 論文被《光學快報》（Optics Letters） 接受，並提前在網上發表。該雜誌由美國光學學會(hui) 主辦，以快速報道光學領域的研究成就而著稱。

    博士後王彪與(yu) 合作導師崔平、宋偉(wei) 傑研究員通過集成有序納米孔材料合成和納米材料表麵微納加工兩(liang) 種先進技術，提出了一種在有序的多孔陽極氧化鋁基片上獲得所需圖案的低成本方法。他們(men) 在正常的光刻加工步驟完成後，利用化學刻蝕方法代替通常采用的幹法刻蝕工藝，從(cong) 而快速地將所需的微觀圖案轉移到多孔陽極氧化鋁片上。實驗表明，通過上述方法可以在多孔氧化鋁片上刻製出高精度的圖形結構，並且加工獲取的圖形結構深度很容易超過10μm以上。該方法將衍射光學元件如透射光柵的加工由傳(chuan) 統的致密光學材料擴展到有序納米孔材料上，有望適用於(yu) 高性能衍射光學元件。例如，當多孔氧化鋁上刻製的圖形是光柵條紋時，所獲得的單色激光衍射結果與(yu) 理論計算值吻合得很好。